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sbc-500kg壓阻式壓力傳感器-卓揚,標準傳感器
2020.01.02

壓阻式壓力傳感器的壓力敏感元件是壓阻元件,它是基于壓阻效應工作的,所謂壓阻元件實際上就是指在半導體材料的基片上用集成電路工藝制成的擴散電阻,當它受外力作用時,其阻值由于電阻率的變化而改變,擴散電阻正常工作時需依附于彈性元件,常用的是單晶硅膜片。


壓阻式壓力傳感器壓阻芯片采用周邊固定的硅杯結構,封裝在外殼內,在一塊圓形的單晶硅膜片上,布置四個擴散電阻,兩片位于受壓應力區,另外兩片位于受拉應力區,它們組成一個全橋測量電路。


硅膜片用一個圓形硅杯固定,兩邊有兩個壓力腔,一個和被測壓力相連接的高壓腔,另一個是低壓腔,接參考壓力,通常和壓大氣相通,當存在壓差時,膜片產生變形,使兩對電阻的阻值發生變化,電橋失去平衡,其輸出電壓反映膜片兩邊承受的壓差大小。


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